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感光薄膜与二维Bragg光栅制备

篇1:感光薄膜与二维Bragg光栅制备

感光薄膜与二维Bragg光栅制备

微细的'二维Bragg光栅在光信息领域有重要应用,传统的干法或湿法蚀刻在高密度格子制备方面有很大难度,研究合成了具有紫外感光性的含锆溶胶,进一步在硅和石英基板上制备了含锆感光性凝胶薄膜,直接利用这种感光性凝胶薄膜,结合激光干涉技术和热处理过程,可在硅基板或石英基板上制备出反射型或透过型二维Bragg格子光栅,X-射线衍射表明,经过热处理后构成格栅的材料为多晶的四方相ZrO2,这类光栅不含有机物,衍射光符合Bragg条件,格子的周期为1μm,格栅线条或栅孔尺寸约0.5μm.

作 者:赵高扬 张卫华 王哲哲 赵卫 蒋百灵  作者单位:赵高扬,张卫华,王哲哲,蒋百灵(西安理工大学,材料科学与工程学院,西安,710048)

感光薄膜与二维Bragg光栅制备赵卫(中国科学院,西安精密光学机械研究所,西安,710068)

刊 名:自然科学进展  ISTIC PKU英文刊名:PROGRESS IN NATURAL SCIENCE 年,卷(期): 17(2) 分类号:O6 关键词:二氧化锆   薄膜   感光性   二维格子   激光干涉  

篇2:采用HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅

采用HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅

采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的`折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采用X射线作曝光光源通过掩模进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8 μm、周期为1 μm的衍射光栅.

作 者:谢永军 赵福华 魏伟 赵小侠 赵卫 XIE Yong-jun ZHAO Fu-hua WEI Wei ZHAO Xiao-xia ZHAO Wei  作者单位:中国科学院西安光学精密机械研究所,瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安,710119 刊 名:光子学报  ISTIC PKU英文刊名:ACTA PHOTONICA SINICA 年,卷(期): 37(1) 分类号:O436.1 关键词:信息光学   HfO2/SiO2溶胶-凝胶   光栅   光敏  

篇3:近场光学的二维相互作用与光栅分辨

近场光学的二维相互作用与光栅分辨

首先推导出平面波入射到无限长柱体上时二维散射场的`分布,给出了探测样品为柱状体时的相互作用方程,继而将其应用到两个并列柱体样品及简单光栅(由四个柱体样品并列)的分辨率计算中.结果表明,在二维场分布中同样存在最佳分辨,近场与远场的相抵仍然在起作用.

作 者:张娟娜 郭奇志 谭维翰  作者单位:上海大学物理系,上海,36 刊 名:中国激光  ISTIC EI PKU英文刊名:CHINESE JOURNAL OF LASERS 年,卷(期): 30(9) 分类号:O431.1 O439 关键词:应用光学   二维相互作用   光栅分辨   近场与远场相抵  

篇4:CoFe2O4/TiO2纳米复合薄膜的制备与磁性

CoFe2O4/TiO2纳米复合薄膜的制备与磁性

以钛酸丁酯和金属盐酸盐为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了磁性CoFe2O4/TiO2复合薄膜.通过综合热分析(DSC)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、偏光显微镜(PLM)观测了复合薄膜的相结构和表面形貌,探讨了薄膜的合成机理,采用振动样品磁场计测量样品的磁性.研究发现,溶胶-凝胶法制得的复合薄膜中,随着热处理温度的升高,两相组分晶体各自析出长大,CoFe2O4均匀地分布在TiO2网状基体中.样品经800℃退火后得到了平整的`CoFe2O4/TiO2磁性复合薄膜,晶粒平均粒径大约为19nm.随着热处理温度的升高,复合薄膜的磁性增强.

作 者:田晓霞 裴志斌 屈绍波 王斌科 傅振堂 TIAN Xiao-xia PEI Zhi-bin QU Shao-bo WANG Bin-ke FU Zhen-tang  作者单位:空军工程大学,理学院,应用数学与物理系,陕西西安,710051 刊 名:磁性材料及器件  ISTIC PKU英文刊名:JOURNAL OF MAGNETIC MATERIALS AND DEVICES 年,卷(期): 39(3) 分类号:O484.4+3 关键词:CoFe2O4/TiO2纳米复合薄膜   溶胶-凝胶法   相结构   表面形貌   磁性  

篇5:气相沉积制备硬质薄膜技术与应用述评

气相沉积制备硬质薄膜技术与应用述评

本文对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评,重点强调了等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)的`优势、进展及其在工模具领域的应用.

作 者:马胜利 徐可为 介万奇  作者单位:马胜利(西北工业大学金属凝固技术国家重点实验室,西安,710072;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049)

徐可为(西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安,710049)

介万奇(西北工业大学金属凝固技术国家重点实验室,西安,710072)

刊 名:真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU英文刊名:VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年,卷(期):2002 22(6) 分类号:O484 关键词:气相沉积技术   硬质薄膜   PCVD
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