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纳米晶SnO2薄膜的结晶特性

篇1：纳米晶SnO2薄膜的结晶特性

纳米晶SnO2薄膜的结晶特性

纳米晶SnO2薄膜的结晶特性

采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O2,在衬底温度为150～400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO2∶Sb透明导电薄膜,通过测定X射线衍射谱,表明薄膜择优取向为[110]和[211]方向.测量了SnO2∶Sb薄膜的'结晶特性随衬底温度变化以及纳米晶SnO2薄膜FE-SEM表面及断面形貌.

作 者：王占和 吴海霞 蒋煜婧 邢懋腾 詹杰  作者单位：北京理工大学电子工程系,北京,100081 刊 名：半导体学报  ISTIC EI PKU英文刊名：CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 年，卷(期)： 24(z1) 分类号：O484 TN305.92 关键词：磁控溅射   纳米晶   SnO2薄膜   结晶特性   FE-SEM  

篇2：多晶硅纳米薄膜电学特性的实验研究

多晶硅纳米薄膜电学特性的实验研究

用低压化学气相淀积(LPCVD)法淀积了膜厚为60～250nm的多晶硅纳米薄膜,研究了膜厚和掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜电学特性的影响.结合扫描电镜(SEM)图片,在电阻率与电阻率温度系数测试结果的基础上,分析了膜厚和掺杂浓度对薄膜电学特性的'影响.结果表明:重掺杂多晶硅纳米薄膜具有良好的温度特性,电阻率温度系数可达到1×10-4～3×10-4/℃的水平.

作 者：刘晓为 李金锋 揣荣岩 施长治 陆学斌 吴娅静 LIU Xiao-wei LI Jin-feng CHUAI Rong-yan SHI Chang-zhi LU Xue-bin WU Ya-jing  作者单位：刘晓为,李金锋,施长治,陆学斌,吴娅静,LIU Xiao-wei,LI Jin-feng,SHI Chang-zhi,LU Xue-bin,WU Ya-jing(哈尔滨工业大学,MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001)

揣荣岩,CHUAI Rong-yan(哈尔滨工业大学,MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001;沈阳工业大学,信息科学与工程学院,辽宁,沈阳,110023)

刊 名：传感器与微系统  PKU英文刊名：TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES 年，卷(期)： 27(8) 分类号：O738 关键词：多晶硅纳米薄膜   电学特性   掺杂浓度   膜厚  

篇3：纳米磁性液体对多元多相体系结晶特性的影响

纳米磁性液体对多元多相体系结晶特性的影响

以HCFC141b气体水合物结晶生成体系为对象, 通过实验研究了磁场作用下纳米磁性液体对多元多相体系结晶生成特性的影响. 重点研究了互不相容的水相与HCFC141b液相间、水相与气相(水蒸汽与HCFC141b蒸气)间的质量传递现象. 结果发现, 在旋转磁场作用下, 纳米磁性液体能显著增强相间的`质量传递和热量传递, 使得结晶生成性能包括生成温度、生成速率等得到很大的提高.

作 者：舒碧芬 沈辉 陈美园 夏建汉 王响 孙建伟  作者单位：中山大学太阳能系统研究所,广州,510006 刊 名：中国科学B辑  ISTIC PKU英文刊名：SCIENCE IN CHINA(SERIES B) 年，卷(期)：2007 37(6) 分类号：O6 关键词：纳米磁性液体   多组分多相体系   结晶生成特性   相间传递现象   气体水合物
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